沈阳芯源微电子设备有限公司

Company Profile

沈阳芯源微电子设备有限公司成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所创建的国家高新技术企业，专业从事半导体生产设备的研发、生产、销售与服务，致力于为客户提供半导体装备与工艺整体解决方案。芯源公司座落在沈阳市浑南高新技术产业开发区，公司占地2万平米，拥有高等级净化厂房和一流的研发办公环境，已通过ISO9001质量体系、ISO14001环境体系、OHSAS18001职业健康与安全体系和SEMI-S2国际半导体制造设备的环境、健康及...

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自主开发了涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机、擦片机等

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