北京信息科技大学传感技术研究中心

我校实验室提供可靠性测试，MEMS加工服务：
可靠性测试：一、转台测试:角度角速度标定；振动台测试二、跌落冲击台（电子产品、机械部件的冲击测试）三、电动式振动台（产品整机或部件的振动测试）四、温度试验：温冲测试、高低温存储、湿热试验
生产加工：一、MEMS工艺（光刻、氧化、湿法刻蚀、等离子去胶等;二、喷涂光刻胶三、溅射镀膜（镀金、银、铜等)四、硅片干法刻蚀五、激光打标（金属、陶瓷、塑料部件打LOGO）六、平行缝焊（金属壳封盖）；氦质谱检漏（氦气检漏）