从上图可以看出,整个集成电路的打磨过程中,会涉及到各种各样的设备。我们就按照市场的占有率介绍一下前十的设备公司,并介绍一下他们的相关设备,并说明一下他们在半导体流程中充当什么角色。
一、应用材料
按维基百科,应用材料公司是全球最大的半导体设备和服务供应商。应用材料公司创建于1967年,公司总部位于美国加利福尼亚州圣克拉拉。应用材料公司1984年进入中国,目前在上海,北京,天津,苏州,无锡等地有办事处或仓库,在西安设有太阳能开发中心。
应用材料公司的主要产品为芯片制造相关类产品,例如原子层沉积,物理气相沉积,化学气相沉积,电镀,侵蚀,离子注入,快速热处理,化学机械抛光,测量学和硅片检测等。应用材料公司每年的研究经费达到约10亿美元。
应用材料公司Applied Materials(AMAT)历史沿革:
1967年,Michael A. McNeilly创立应用材料公司;
1972年,Applied Materials公开交易;
1984年,应用材料公司进入中国,目前在上海,北京,天津,苏州,无锡等地有办事处或仓库,在西安设有太阳能开发中心(详见下文);
1996年11月,应用材料公司收购两家以色列公司:1.75亿美金收购Opal Technologies、1.1亿美元收购Orbot Instruments;
2000年,Applied Materials收购Etec Systems, Inc.;
2011年6月27日,应用材料公司以2100万美金收购以色列公司Oramir Semiconductor Equipment Ltd.;
2008年1月,Applied Materials购买意大利公司Baccini;
2009年,应用材料公司在中国陕西西安开设了其太阳能技术中心(Solar Technology Center)—是目前全球最大的商业太阳能能源研究和发展机构/设施;
2009年12月,Applied Materials完成对Semitool Inc.的收购;
2011年5月,Applied Materials宣布收购Varian Semiconductor;
2013年9月24日,应用材料宣布将透过换股方式,作价90亿美元收购主要竞争对手东京电子(Tokyo Electron),2015年4月28日,应用材料与东京电子表示将取消业务合并计划,因该合并未获得美国司法部认可。
东京电子发展历程:
1963年11月 - 由东京放送(TBS)成立东京电子研究所
1978年10月 - 东京电子研究所更名为东京电子
1980年 6月 - 在东京证券交易所第2部上市
1984年 3月 - 升格为在东京证券交易所第1部上市
1990年8月 - 成立东电FE,开始研发制造LCD和FPD的设备
1994年 8月 - 总公司地址搬到赤坂TBS放送中心
2006年 4月 - 分割为东电AT,东电九州和东电软件技术三个子公司
2008年 2月 - 和夏普合资成立东京电子PV
2013年 9月 - 和应用材料合并
2015年 4月 - 应用材料与东京电子表示将取消业务合并计划,理由是该计划未获得美国司法部认可。