芯达科技自主研发集成电路工艺设备，包括涂胶显影机、单片湿法清洗机、单片喷胶机、晶圆表面增粘机、多晶圆烘烤机、晶圆自动传送机构等，技术产品满足90nm工艺技术需求，适应科研及小规模化50-300mm晶圆的生产需要