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4001027270
技术参数
衬底尺寸和类型
450mm晶圆40片/批次
300mm晶圆80片/批次
200mm晶圆12 x 25片/批次
156 mm x 156 mm硅片800~1000片/批次(双面/背对背)
高达400 mm x 600 mm玻璃基板30~50片/批次(双面/背对背)
3D 复杂表面衬底
多孔,通孔,高深宽比(HAR)样品
工艺温度
50 – 500 °C
基片传送选件
气动升降(手动装载)
工业机器人装载
前驱体
液态、固态、气态、臭氧源
源瓶容量传感器,并提供清洗和装源服务
8根独立源管线,最多加载12个前驱体源
重量
2000 kg
尺寸(W x H x D)
230 cm x 270 cm x 125 cm
选件
集群工具,PICOFLOW™ 扩散增强器,QCM,RGA,N2发生器,尾气处理器,定制设
计,手套箱集成(用于惰性气体下装载),与工厂软件连接服务。
验收标准
标准设备验收标准为 Al2O3 工艺,
其他工艺可具体协商:其他工艺、应用特别验收标准如:
--不均匀性
--颗粒物含量
--重金属污染
--电学性能
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