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4001027270
1. 分辨率: 5nm (30kV, SE Image)
8nm(30kV, BSE Image)
2. 放大倍率:30x~100,000x (有效放大倍率60,000x)
3. 加速电压 : 1kV to 30kV (1Kv/ 5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step)
4. 对焦方式:自动/手动同时支持两种模式
5. 图像:
二次电子图像-(SEI)-Secondary Electron Image
背散射电子图像-(BSEI)- Backscattered Standard Mode
6. Observation mode : Standard Mode
7. 电子枪系统:
灯丝类型:预对中钨灯丝
偏压系统:自动偏压方式
电子枪校正:手动方式
8. 透镜构成
i. 聚光镜 : 2段式磁线圈透镜
ii. 物镜 : 1段式磁线圈透镜
9. 探测器类型:E-T Detector
10. 载物台系统:5轴操控
- X, Y-axis : 40mm / R-axis : 360°(自动控制)
- Z : 0~35mm / Tilt-axis : 0~45°
11. Image shift: X, Y Image Shift (100㎛)
12. 样品最大尺寸 :80mm in diameter, 35mm in height
13. 图像扫描速度
1. 快速扫描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)
2. 低速扫描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)
3. 图片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.)
4. 图片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.)
14. 自动功能
自动启动,自动聚焦,自动亮度对比度调节
15. 图像存储方式
BMP, JPEG, PNG
16. 数据显示
放大倍率,探测器类型,电压,真空模式,文本,标尺等
17. 真空系统
全自动型/高者空模式+低真空模式(Multi mode)
-(旋转式机械泵)Rotary Pump/100Liters/min
-(涡轮式分子泵)Turbo Molecular Pump/ 80Liters/sec
抽真空时间:3分钟以内
18. 操控系统:鼠标和键盘
19. 运行系统:电镜专用台式电脑
-OS : Microsoft Window 7
-CPU : Intel CoreTM i5 or High version
-Memory / HDD : 2GB / 500GB or High version
20. 软件:
-图像文件打开,编辑,存储功能
-长度,面积,角度等测量功能
-设置数值初始化,图像拍摄模式转换,Archives, Setting(EDS)模式等
21. 体积:
设备主机-390(W)×330(D)×560(H)mm……1set
控制主机-390(W)×315(D)×560(H)mm……1set
外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set
22. 重量:98kg
23. 设备环境:
-温度:15℃~30℃
-湿度:70% or less
-电源:Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz
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