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DX测量显微镜系列是观察、测量和处理系统化的显微镜阵容。
特点
● 视场宽阔，可得清晰无闪烁正像
● 高精度测量，同时具有大测量范围和高精度，适用于各种测量
● 可选用高NA物镜，满足长工作距离的测量要求
● 照明装置（反射/透射）可选用高亮度LED的照明或卤素照明
● 利用可变孔径光阑进行无衍射观察测量
● 各类尺寸的标准工作台
● 快速释放装置便于测量工件大或测量工件数量多的快速移动工作台
● 高位目镜观察
● 便捷CCD图像成像，可选配多种CCD数码相机
观察成像
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偏光观察 观察过滤后只有一个方向振动的光。适于观察具有特殊光学特性的材料，如矿石和液晶。 |
微分干涉对比观察 在检测金属、液晶和半导体表面的微小划痕和阶差时很有效。 |
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暗视场观察 挡住直射到物体上的光，只观察散射光，通过高对比度能观察到在亮视场看不到的划痕和粉末。 |
亮视场观察 最普通的观察方式，直接观察从工件表面反射的光。 |
新功能增强Z轴测量精度
● 辅助对焦（FA）
新近研发的分光棱镜辅助对焦（FA）提供更锐利的图案，可在Z轴测量期间提供精确对焦。由于不同物镜焦深差异导致的测量误差被降到最低。
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| 对焦 | 前端对焦 | 后端对焦 |
