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测量显微镜是同时具有高精度线性测量和观察功能的多功能仪器。这使得测量显微镜可对诸多如半导体、显示屏、微电子器件、精密汽车零件、注塑件、以及医疗器具等产品进行详细检测。测量显微镜还可轻易测量不能进行接触测量的易碎工件和需要用接触探针测量的具有极小细节的工件。 测量显微镜所必备的重要要素是光学性能、总体精密、操作性的平衡。以前不可见或几乎不可见的物体现在不仅可以观察而且能被测量，用户对测量显微镜性能的期待将持续增长，而这些增长是与操作简便、高测量能力以及对于此环境的适应性相关联的。
特点
● 更高的精度
● 数字成像和影响处理测量术
● 更大的载物台提高了工件的处理能力
● 非接触式Z轴高度测量
● 与数据处理系统协同工作
辅助对焦系统
新近研发的FA照明器具有分光棱镜辅助对焦功能，可提供更锐利的图案。可在Z轴测量期间提供精确对焦。由于不同物镜焦深差异导致的测量误差被降到最低。
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● 分光棱镜辅助对焦（FA）结构
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● 分光棱镜辅助对焦（FA）实例
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| 用于高反光的工件 | 用于低反光的工件 |
