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简单介绍:光刻机:(英文名:Mask ALIGENER)又名曝光机, 该型号光刻机创新采用采用双目双视场显微镜对准;球碗调平,单片机控制,触摸开关,操作方便、实用性强。整机具有性能可靠、操作方便等特点。
一.技术特征
1、采用国内独创的多点梯形反射镜聚光和实现均匀照明,具有高的能量收集率和高均匀性照明性;
2、采用进口直流高压汞灯,光功率稳定;
3、采用i线(365nm)紫外曝光光源,波长单一,光谱纯净;
4、高倍率双目双视场CCD显微镜和22英寸宽屏液晶,可同时观察对准过程,适用大视场高倍率对准;
5、采用薄膜开关操作,数字设定曝光时间,倒计时数显,曝光量可精确控制;
6、配置无油真空泵,无污染,噪音小;
7、关键器件采用进口国际品牌产品,整机可靠性高。
二.技术参数
1、曝光面积:110mm×110mm
2、曝光波长:365nm(纯净光源)
2、分辨力: 1.5µm
3、对准精度::± 1µm
4、掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm
5、掩模尺寸:2.5寸、3寸、4寸、5寸
6、直径Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm);
7、照明均匀性:±5%
9、掩模相对于样片运动行程: X:±5mm; Y:±5mm; θ: ±6度
10、汞灯功率:200W(直流、德国欧司朗)
11、曝光量设定:定时曝光 定时(到计时方式 0.1s-9999.9s任意设定、设定精度0.1s)
12、双目双视场显微镜:物镜三队:4X、10X、20X,目镜三对:10X、16X、20X
应用领域
集成电路芯片、电子封装、微电子机械系统、微光学元件、红外探测器生物电泳芯片、激光二极管光刻、光栅光刻,波导阵列光刻、液晶显示声表器件、平板显示器、大尺寸光栅、码盘刻划等
URE系列紫外光刻机系我公司重点推荐产品
曾出口:新加坡,韩国,朝鲜,缅甸,老挝等
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