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PS:探针台属于非标产品,均可根据客户需求进行定制;
探针台
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特点 |
类型 |
规格 |
*紧凑的结构,轻巧的重量; *结构设计合理,经济实用; *探针操作灵敏,直线度高; *便于维护;
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Chuck(卡盘) |
尺寸:4英寸,圆形 |
材质:不绣钢(可升级镀金) |
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旋转角度:0-360°可带角度锁定,精度0.1° |
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X-Y移动行程:4" x4",移动精度:10um(可升级为1um精度) |
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吸附孔:中心孔径最小可做到250微米,最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm,最大能够吸住尺寸为4"X4" |
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整体规格
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U型设计,可放置4个高端探针座,中端最多8个探针座 |
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平整度:5um,平台特殊处理,使得探针座吸附更牢固 |
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尺寸:500mm长 x 480mm宽 x 480mm高(带显微镜) |
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重量:50KG(带显微镜) |
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选配: * Z轴升降行程:5mm,卡盘快速升降,方便更换样品,不会碰触到其他已调试好器件; * 卡盘镀金; * 搭配射频探针; * 视频CCD系统; * 防震桌; * 屏蔽箱; * 加热系统; |
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