主要技术参数

1.扫描系统

1.1 标准配置扫描模式：扫描隧道显微镜STM恒流/恒高模式、I-Z/I-V曲线测量；
         原子力显微镜AFM 接触/横向力/轻敲/相位/振幅 模式；
         超级曲线测量模式：可以任意设置所有的AD作为Y信号，所有的DA作为X信号进行曲线扫描，比如I-V、I-Z、力-距离、振幅-距离、频率-相位、相位-距离、频率-振幅 等等曲线；
         膜厚/台阶测量功能：可用电控样品定位装置精确定位到薄膜/台阶的边沿；
         纳米刻蚀加工功能：刻蚀模式（电刻蚀/力刻蚀），刻蚀轨迹（矢量式/图形式）

      可选配扫描模式：扫描声学显微镜；摩擦力显微镜；磁力显微镜；静电力显微镜；扫描开尔文探针显微镜；扫描热学显微镜；扫描电容显微镜；导电原子力显微镜；液相/气氛AFM；样品加热台；力反馈装置；压电响应力显微镜。

1.2 最大扫描范围：50μm*50μm扫描器（可选配100μm*100μm扫描器）
     单个大量程自适应扫描器不更换技术，最大100μm扫描器可达HOPG原子分辨率
1.3 最大量程扫描器分辨率：
              扫描隧道显微镜STM：X-Y向0.1nm；Z向0.01nm；HOPG原子定标
              接触模式AFM：X-Y向0.2nm；Z向0.03nm；云母晶格定标
              轻敲模式AFM：X-Y向0.2nm，Z向0.1nm；DNA样品验证
1.4 样品台尺寸：最大直径Φ80mm（可定制106mm），厚度<30mm，重量<150g
1.5 探针识别：自动识别当前针尖类型，软硬件自动切换到相应的工作模式，无需人工干预（专利技术）
智能针尖架内置照明光源，便于实时监测样品和样品宽光谱辐射处理。
1.6 探针保护：移动探针时探针会自动退离，具有自动进针保护和平滑移动保护，能有效降低样品对针尖的损伤，使仪器长时间保持高分辨图像。 

1.7 探针趋近：高精度高速伺服电机，控制针尖自动逼近样品，行程<30mm，最小步长<23nm 

1.8 锁相型压电力显微镜PFM（选配）：通过与电压有关的压电材料的接触力学，微悬臂的动态性能，材料内部的电场分布特性（分辨率、畴反转行为、电滞回线机制等）来研究压电、铁电材料纳米尺度的压电响应特征。
    可通过在线控制软件在扫描区域的任意位置对点、线、面进行-50V--+50V（任意设置）的极化反转，而非使用外部模块的手动操作；
    一次扫描可同时得到平面内和平面外铁电、压电畴分布特征图像；
    可稳定得到蝶形曲线和电滞回线，测试D33D31系数（增强型选配功能）。
　
2.高精度样品移动定位系统

2.1 高分辨CCD光学观测系统：在计算机上成像，用于观察探针和样品，放大倍数80—600倍，视场1.6mm，工作距离10cm，配套控制及成像软件。一体式设计，工作过程中不必移开，可全程随时观测。

2.2 高速精密电控样品移动平台：
    2.2.1计算机自动控制电控马达进行精确样品移动和定位。最小步进50nm，移动范围5mm*5mm。 
     2.2.2 可在CCD视频界面或SPM图像扫描界面，直接用鼠标拖动待测区到目标位置，计算机控制移动平台自动定位； 
     2.2.3 可任意设置数个原点位置，随时一键返回（计算机控制移动平台自动回到指定原点）
     2.2.4 可任意标记多个测样点 ，编制定位路径，计算机控制移动平台自动依次到达各预设点；
     2.2.5 可直接输入X、Y方向移动数值，计算机控制移动平台自动定位。

2.3 单一大量程自适应扫描器：50或100μm大量程扫描器可达HOPG原子分辨率，测样过程中不用更换扫描器，可实现从50/100微米—几纳米扫描范围连续定位高精度成像。

3.电子控制系统

3.1 控制/采集精度：采用双16位扫描/采样差分同步独立高压放大专利技术，16通道双16位A/D （精度相当于23位）；12通道16位D/A；4通道双16位D/A（精度相当于23位）
3.2 反馈方式：8通道 数字化反馈+数控模拟反馈
3.3 中枢控制器：32位ARM控制内核，16 M RAM ，2M Flash ROM
3.4 中枢总线：数字总线：速度24M/s，宽度16位；外部地址总线：速度24M/s，宽度8位；
                           固件下载总线：速度500Kb/s，宽度8位，可直接远程下载升级可编程电子器 件中的程序；
                           模拟总线：-10～+10V，信噪比200000：1。
3.5 中枢总线余量：3通道16位D/A；3通道双16位A/D（精度相当于23位）；20位DIO
3.6 扩展余量：16通道16位D/A；16通道双16位A/D（精度相当于23位）
3.7 高压单元：±300V 纹波噪声1.5mV；4通道双16位D/A（精度相当于23位）提供扫描器XYZ三个方向的控制电压；可扩展到8通道
3.8 计算机接口：USB2.0接口
3.9 扫描角度：-180~180连续可调
3.10 图像采样点：128×128/ 256×256 / 512×512 / 1024×1024 / 2048×2048 / 4096×4096 点可调
3.11 电流检测灵敏度≤10pA
3.12 力检测灵敏度≤5pN
3.13 预置隧道电流：1pA～50nA
3.14 偏置电压：-10～+10V
3.18 温湿度传感器，实时环境检测精度：温度0.1℃，湿度0.5%RH，液晶屏/实时采集显示 
　
4.软件系统

4.1 操作系统：Windows 98/2000/XP/VISTA/WIN7 全系列操作系统兼容
                            具有中文简体/繁体/英文 语言版本的SPM应用软件，也可根据用户要求定制其它语言版本
4.2 在线控制软件：
                四窗口图像界面，可同时观察4个不同数据通道实时同步成像，扫描图像和当前工作环境参数同步保存；
                系统智能记忆自学习功能：一个参数改变，相关参数会根据系统经验自动调节到最佳范围；
                压电陶瓷非线性校正（非线性度<0.5%），曲面拟合校正，样品倾斜校正；
                在线连续拖动三维图像显示功能，可任意缩放或区域显示，表面颜色可根据采集的通道任意配置；
                超级曲线扫描功能：可以任意设置所有的AD作为Y信号，所有的DA作为X信号进行曲线扫描，比如I-V、I-Z、力-距离、振幅-距离、频率-相位、相位-距离、频率-振幅 等等曲线； 
4.3 图像处理软件：3D显示，滤波处理，图像修饰，边缘增强、形态学处理、图像格式转换，图像几何变换、调色板设置等。
4.4 数据分析软件：粗糙度分析，颗粒度分析，剖面分析，膜厚分析、台阶分析、数据统计、Bearing分析和比较、功率谱分析和比较、自相关/互相关分析、图像相加减功能、各种曲线统计/分析等。
                 任意剖面分析：可在图像上设置任意曲线，得到该曲线的剖面图。 
4.5 软件开发模板：便于用户进行二次开发，完成特殊的数据处理功能。
4.6 专业膜厚/台阶测量分析软件：用SPM仪器测量膜厚的技术关键在于有效搜寻到并能够控制探针移动到薄膜或者台阶的边沿，只有使用我们国内独家配置的高精度电控样品移动平台配合CCD系统才可以做到。
4.7 远程控制软件：支持远程网控技术，提供远程培训、远程检修、远程实验服务（选配）
4.8 软件服务包：软件以插件方式终身享受免费升级服务。