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定置探针台可根据特殊需求完成各组件的定置
可选项:
* 光学主体:体式显微镜/高倍率超长工作距离视频显微镜/高分辨金相显微镜
* 真空吸附卡盘或固定式夹具
* 真空吸附加热卡盘(温度:200℃/300℃或其它)
* 可选低温制冷卡盘
* 低温罩箱(用于充入氮气低温制冷)
* 客户定制化移动平台
* 各类DC探针、高频探针、电缆线等…
* CCD或C-MOS视频成像装置
* 各类探针夹具
* 静音真空泵
* 屏蔽箱
* 防振桌
* R轴及Z轴精调装置
* 适配器
* 转接头
* 电学测试设备
* 其它外围组件
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