Service Hotline
4001027270
consumer hotline:00864001027270
高精密晶圆划片机ADS2000技术参数
系统组成 \ 项目 |
单 位 |
规 格 |
|
加工尺寸 |
mm |
Φ300 |
|
工作平台尺寸 |
mm |
Φ350 |
|
X 轴 |
工作行程 |
mm |
500 |
切割速度 |
mm/sec |
0.05 ~ 400 |
|
分辨率 |
mm |
0.0001 |
|
Y 轴 |
工作行程 |
mm |
650 |
分辨率 |
mm |
0.0001 |
|
重复定位精度 |
mm |
0.001 / 310 |
|
Z 轴 |
工作行程 |
mm |
60 (2 Inch刀片) |
分辨率 |
mm |
0.0001 |
|
Θ 轴 |
旋转角度 |
deg |
360 |
主 轴 |
功率 |
KW |
2.4×2 set |
转速 |
rpm |
5,000 ~ 60,000 |
|
整机规格 |
供给电源 |
V |
3P , 220 (50 ~ 60 Hz) |
整机功率 |
KW |
8 |
|
气源气压 |
MPa |
0.6 ~ 0.8 MPa |
|
空气消耗量 |
L/min |
250 |
|
切削水消耗量 |
L/min |
6.5 |
|
冷却水消耗量 |
L/min |
2.5 |
|
外形尺寸(W×D×H) |
mm |
1262×1704×2023 |
|
整机重量 |
KG |
1900 |
If you have any questions before purchasing, please contact us.