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中国航发北京航空材料研究院电子束物理气相沉积设备国际招标公告，设备名称：电子束物理气相沉积设备，设备要求：电子束枪：4把；沉积用坩埚：2个 ；电子束枪加速电压：18-20kV；单把电子束枪最大功率：≥60kW；工作转速：0-30rpm；主沉积室极限真空度：不大于10-3Pa ；压升率：不大于0.67Pa/h。招标项目编号:0730-18401E010103，联系人:田珂，联系方式:13691103967 。