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招标人:合肥晶合集成电路有限公司
地址:安徽省合肥市新站区大禹路与西淝河路交叉口（合肥新站综合保税区）
联系人:李先生
联系方式:86-551-62637000

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
69	全自动探针台/12英吋晶圆片表面纯水清洗机/氧化层刻蚀机	1台/1台/1台	本设备要求该设备结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质，在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高，可靠性好，响应速度快。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。