舱体多层的设计使它能够提高生产效率

它能提供良好的表面清洁功能和改性效果

它的优点是可靠和可重复性，即便是连续工作

PT-300由以下几个基本单元组成（如需了解具体配置及参数请联系我们）

n 一个射频电源

Ø 40KHz: 0-1000W; 0-1500W; 0-2500W

Ø 13.56MHz: 0-1000W

n 质量控制流量计；2-3个可选

n 一个不锈钢舱体；尺寸W 600mm ; H800mm; D 600 mm

n 自动控制系统；PLC系统

n 皮拉尼真空计

n 真空泵

设备主要应用领域如下

l 半导体制造    

l LED外延及封装

l 汽车制造

l 航空航天

l 科研院所

l 光伏新能源

l 生物医学

l 液晶显示

l 消费电子（手机、电脑等零配件的生产制造）

l 信息通信

l 精密光学

l 其他

舱体内部结构根据不同生产需求可量身定制