采用高性能可编程控制器实现逻辑控制
采用彩色液晶汉显监控，可存储百种用户工艺菜单
结构采用洁净化处理技术
去离子水电阻率监控
防静电控制
氮气温度控制
腔体温度控制
转轴氮气密封
无刷电机驱动
旋转载体定位
故障诊断，显示及报警
CXS系列型号说明
CXS系列型号特征与设备性能、功能的对应关系
CXS系列旋转冲洗甩干机
Popularity:831 Sales volume:0 Evaluation:0
| unit price | ￥0.00 |
| in stock | 10件 |
| Brand | 未填写 |
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CXS系列旋转冲洗甩干机主要用于硅圆片、光刻版等类似材料的高洁净度冲洗及干燥工艺，适用于2-12英寸晶圆，LXS系列旋转冲洗甩干机主要用于材料加工、太阳能电池片、分立器件等行业、单台产量大、效率高。
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the company:中国电子科技集团公司第四十五研究所
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