30公升小型等离子机TETRA-30-LF，全自动控制，主要用于清洁，蚀刻，活化

外型尺寸: W 600 mm, H 800 mm, D 650 mm
反应室尺寸: W 305 mm, H 300 mm, L 370 mm (可选:L 625mm)
反应室容积: 约 34 公升
气体供应: 针阀控制型，双气体通道
射频发生器: 40kHz/0-1000 W(可选: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
真空泵: Leybold, Type  D16B(16 m3/h) 
托盤: 最多6件托盘(选项 : 旋转圆筒)
控制方式: 全自动控制, 计时器控制制程时间

选购/ 附件 [ 配件导购 ]   下列为可搭配的等离子机配件:

1.   13.56 MHz - 射频发生器
以 DIN EN 55011为准，我们的13.56 MHz 射频发生其为石英稳定型。手动和自动阻抗匹配。主要应用领域为活化，清洁，蚀刻，半导体(前端)，半导体(后端)，等离子体聚合。

 2.   40kHz - 射频发器                                                                                  
自动阻抗匹配，双功率执行器。主要应用领域为活化，清洁，蚀刻，半导体(后端)，等离子体聚合。

3.    2.45 GHz - 射频发生器 (微波) 
0-300瓦功率，PC接口。主要应用领域为活化，清洁，半导体(前端)，半导体(后端)，等离子体聚合。

4.   2/2 液体配量阀
可实现液体单体定量配给。

 5.   半自动控制系统
祥见:等离子机/控制系统/半自动控制系统

6.      全自动控制系统
祥见:等离子机/控制系统/全自动控制系统

7.      电脑控制系统
祥见:等离子机/控制系统/电脑控制系统

8.   PCCE-控制系统
采用Windows CE 触摸屏。 祥见:等离子机/控制系统/PCCE控制系统

 9.   活性炭过滤器
容易拆换         

10.      真空抽气入口过滤器
保护真空泵被周围物件，涂料，和污染损伤

11.           11.   自动门
制程中自动锁闭，安全可靠

  13.   加热舱
带调节器，可加热至 80°C 。适用于特定制程条件并提高蚀刻率。

14.   偏压测量系统
kHz- und MHz-射频发生器自带偏压测量系统。

 15.  喷水式饮水口瓶
属于聚合附件，用于将液体单体灌注于真空舱内。

 16.  蝴蝶阀

17.   不同语种文献
所有等离子机系统不自带不属机械指令89/392/EWG的非英语及德语语言，若有特殊需求需单独定购。

18.   旋转圆筒
如用于固体工件处理。

19   测压仪
以Pirani传感器 或 Baratron 显示器 显示真空舱内压。

20.   气瓶减压阀
联接于气瓶-200巴。不同气体需用不同气瓶减压阀。一种适用于H2, O2, CF4, C4F8 ，一种适用于NH3。

21.   连续运作系统
使低压等离子系统在工作线上得以实现自动化。

22.   标准备件或全氟聚醚(PFPE)
标准备件包括1个张力环，1个密封衬垫，1个不锈钢波管（真空管） ， 1个窗玻璃，1个门密封衬垫，10个等离子机系统精密安全环 ，  1升真空泵矿物油。(全氟聚醚(PFPE)标准备件含1升PFPE真空泵油)

                              

23.   标签打印机
等离子体处理后自动打印标签