用途：用来测量晶圆表面的平整度
主要性能指标 Main performance index
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序号 |
性能指标 |
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1 |
可测试样品尺寸：直径 ≤152mm |
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2 |
电源：220V, 50HZ |
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3 |
激光源：670nm |
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4 |
基准滤镜平整度：λ/10 |
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5 |
配置15寸液晶显示器 With LED display |
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6 |
设备尺寸：605mm x 400mm x 500mm (L x H x W) |