◆ 装片数量： 320片/舟（125*125） 252片/舟（156*156）

◆ 净化台洁净度：100级（10000级厂房）

◆ 自动化程度：自动控制温度及工艺过程。

◆ 送取片方式：软着陆式,其特点平稳可靠、无爬行、定位准确、承重量大、使用寿命长。