产品性能介绍：

EasyCoater 6 匀胶机设计标准为结构紧凑、简单易用，程控操作，具有优异的性价比。

1.结构紧凑

EZ6外形尺寸为358mm(L)*256mm(W)*258mm(H)，特别适合放于手套箱内操作。最大可选图6英寸圆晶的底物

2.简单易用

彩色屏幕控制，界面简单易用，且自带帮助功能，提供使用向导，对初次使用者非常方便

3.程控操作

提供多步变成旋涂工艺运行，最多可贮存10步10组程序，还可升级自动点胶功能。

4.性能稳定

工业级直流马达和高级PLC 控制，转轴旋转稳定，重复性好，真空系统设计独特，可靠性好

产品参数说明：

1.HDPE高分子耐腐蚀、易清洁内舱，带排废功能

2.SUS耐腐蚀不锈钢机身，经久耐用

3.耐溶剂性PC透明盖子，提供动态和静态点胶功能

4.4.3寸全彩触屏人机界面，提供触屏笔操作

5.100W直流无刷电机，高级PLC控制

6.内腔直径180mm，可处理碎片(小于1cm）至6英寸圆晶底物

7.速度可调范围：200－10000rpm，转速分辨率1rpm

8.加速度可调范围：100－10000rpm/s

9.可进行多步程序运行，最多可存贮10组10步程序

10.带一只自动点胶端口，可升级为电动点胶功能

11.宽输入电压适用：AC100-230V输入

12.带真空和盖子开关互锁功能，确保操作安全

13.可选择设置开机密码功能提高设备操作安全性

产品附件选择：

1.标配四只真空载物盘（3/16,1/2，1”&2.25），适于碎片（1cm）至6英寸圆晶的处理

2.定制载物盘可选，根据基片尺寸和要求可提供嵌入式或档杆式载物盘设计加工

3.用于薄膜基片可提供定制微孔真空载物盘

4.无油真空泵（抽气量15L/min以上）或真空发生器可选

5.盖子上密封塞子可选，或全密封式盖子可选

6.手持式对中装置可选

7.盖子上点胶针筒支架手动点胶可选

8.瓶口分液器手动点胶可选

9.蠕动泵/注射泵自动点胶可选配