技术参数
衬底尺寸和类型
300mm晶圆10片/批次（标准间距）
200mm晶圆25片/批次（标准间距）
156 mm x 156 mm硅片50～100片/批次（双面/背对背）
高达300 mm x 300 mm玻璃基板10～20片/批次（双面/背对背）
3D复杂表面衬底
粉末与颗粒
Roll-to-roll, 衬底最大宽 300 mm
多孔，通孔，与高深宽比（HAR）样品
工艺温度
200mm晶圆25片/批次（标准间距）
156 mm x 156 mm硅片50～100片/批次（双面/背对背）
高达300 mm x 300 mm玻璃基板10～20片/批次（双面/背对背）
3D复杂表面衬底
粉末与颗粒
Roll-to-roll, 衬底最大宽 300 mm
多孔，通孔，与高深宽比（HAR）样品
工艺温度
50 – 500 °C
基片传送选件
基片传送选件
气动升降（手动装载）
线性装载器
工业机器人装载
前驱体
线性装载器
工业机器人装载
前驱体
液态、固态、气态、臭氧源
源瓶容量传感器，并提供清洗和装源服务
4根独立源管线，最多加载6个前驱体源
重量
源瓶容量传感器，并提供清洗和装源服务
4根独立源管线，最多加载6个前驱体源
重量
400 + 300 kg
尺寸 (W x H x D)
尺寸 (W x H x D)
149 cm x 191 cm x 111 cm
选件
选件
集群工具，PICOFLOW™ 扩散增强器，QCM，RGA，N2发生器，尾气处理器，定制设
计，手套箱集成（用于惰性气体下装载），与工厂软件连接服务。
验收标准
计，手套箱集成（用于惰性气体下装载），与工厂软件连接服务。
验收标准
标准设备验收标准为 Al2O3 工艺