技术参数
衬底尺寸和类型

450mm晶圆40片/批次
300mm晶圆80片/批次
200mm晶圆12 x 25片/批次
156 mm x 156 mm硅片800～1000片/批次（双面/背对背）
高达400 mm x 600 mm玻璃基板30～50片/批次（双面/背对背）
3D 复杂表面衬底
多孔，通孔，高深宽比（HAR）样品
工艺温度

50 – 500 °C
基片传送选件

气动升降（手动装载）
工业机器人装载
前驱体

液态、固态、气态、臭氧源
源瓶容量传感器，并提供清洗和装源服务
8根独立源管线，最多加载12个前驱体源
重量

2000 kg
尺寸(W x H x D)

230 cm x 270 cm x 125 cm
选件

集群工具，PICOFLOW™ 扩散增强器，QCM，RGA，N2发生器，尾气处理器，定制设
计，手套箱集成（用于惰性气体下装载），与工厂软件连接服务。
验收标准

标准设备验收标准为 Al2O3 工艺，
其他工艺可具体协商：其他工艺、应用特别验收标准如：
--不均匀性
--颗粒物含量
--重金属污染
--电学性能