1．技术特征——非常适合工厂（效率高，操作傻瓜型，自动化程度高）和高校教学科研（可靠性好，演示方便）

采用自动找平，具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能，自动分离对准间隙和消除曝光间隙，采用350W进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度。设备外形美观精制，性能非常可靠，自动化程度很高，操作十分方便。

2．技术参数

l曝光面积：4英寸

l曝光波长：365nm

l分辨力：1mm（胶厚2 mm的正胶）

l对准精度：±0. 8mm

l掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm

l掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

l样片尺寸：直径f10mm-- f100mm(各种不规则片)

厚度0.1mm--5mm(可扩展为15mm)

l曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

l具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能

l照明不均匀性： 3%（f100mm 范围）

l双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍

物镜三对：4倍、10倍、20倍

目镜三对：10倍、16倍、20倍

l调平接触压力通过传感器保证重复

l数字设定对准间隙和曝光间隙

l具备压印模块接口，也具备接近模块接口

l掩模相对于样片运动行程：

 X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6º

l最大焦厚：400mm（SU8胶，用户提供检测条件）

l光源平行性：3.5 º

l曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面温度<35 º

l单层曝光一键完成

l采用球气浮自动找平

l汞灯功率：350W（直流，进口汞灯）

3．外形尺寸：1200mm（长）´900mm(宽) ´1750mm（高）

4．交货期：1.5月