性能特点：
- 支持高压工艺，更快的沉积速率；
- 高功率清洗技术，更好的清洗效果；
- 支持双频工艺，可控制膜层应力；
- 加热器三区控温，控温能力更强；
- 大产能高性价比
- 大产能，更优的大尺寸晶片容量。
PECVD
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| unit price | ￥0.00 |
| in stock | 1件 |
| Brand | 未填写 |
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EPEE 550是一款面向LED领域的大产能PECVD设备，适用于LED芯片制造中的保护层、SWE掩膜层、CBL等工艺制程
性能特点：
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the company:北京七星华创电子股份有限公司
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QQ:173370263
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