具有前开式晶圆盒
开放式晶圆匣
具有剥离触发器，因此具有稳定的剥离效果
通过对剥离棒的准确控制可实现较低应力的剥离
可通过触摸面板和配方功能实现简易操作
日志文件功能标准设备
符合 CE 标志/SEMI S2/S8规范要求
可添设晶圆映射扫描仪
符合 SECS/GEM 标准
可用晶圆尺寸：300 mm／200 mm
可用晶圆厚度：100 um 或更厚
吞吐量：60晶圆/小时
日东电工 HR3000III全自动研磨撕膜机揭膜机
Popularity:234 Sales volume:0 Evaluation:0
| unit price | ￥0.00 |
| in stock | 100件 |
| Brand | 日东电工 |
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HR3000III
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