Furnace
真空炉
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从结构上分为卧式、立式、箱式,从真空度上分为低真空、高真空,从使用温度上分为低温、高温,从真空室材料上分为石英管、耐热          
 
不锈钢管,从真空获得上分机械泵、机械泵+扩散泵、机械泵+分子泵。
    设备用途:广泛用于电力电子器件、玻封二级管、气体放电管、磁性材料、热敏电阻等器件的真空烧结、封装、焊接、合金、退火等工艺。
    主要技术指标:
 ★工位:      单、双、三工位
 ★工作温度:   300~1100℃(不锈钢真空室最高1000℃)
 ★真空度:    优于5×10-3 Pa
 ★真空室直径:Φ150~300 mm
 ★恒温区长度:400~1000 mm
 ★控制精度: ±1.0~3.0℃
 ★炉体移动速度:0~400 mm/min
 ★最大充气压力:0.5 MPa (不锈钢真空室)
 ★加热功率:    10~80 KVA
 ★控制系统:   进口仪表+PLC+触摸屏
 ★安全连锁保护:超温、断偶、缺水、压力异常保护报警
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the company:青岛福润德微电子设备有限公司
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