公司配备专用维修、检测和负载测试工具，有多年的丰富维修经验，服务具体如下：

服务机台 

刻蚀（ET）： LAM 9400、9600 

                 AMAT CENTURA II&I 

                 AMAT  SEMVision G2 

离子注入（DF）：VARIAN 

                EATON(AXCELIS) 

                NISSIN 

                AMAT PI9500 9200 

光刻（PH）：NIKON  NSR 

                   ASML 5500

太阳能光伏PECVD： centrotherm(管式镀膜）Roth&Rau(平板式镀膜 德国）

服务品牌 

AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、SEREN、DAIHEN、VEECO射频电源，HiTek power，Glassman、Spellman高压电源，Lambda、delta、sorensen、Powerone直流电源。ASTeX  Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH  LAMP、ESC HV PSU