Ø 铝制工作腔室: 229 mm 高 X 330 mm宽 X 483 mm 深（内部尺寸）
Ø 腔室观察窗口
Ø 高电导真空接口及隔离阀
Ø 600 Watt 风冷13.56 MHz 射频发生器
Ø 两路质量流量控制器 (MFC)， 最大流速500 scc/m
Ø 保护性气体回填功能
Ø 控制计算机
清洗机
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