GE50A质量流量控制器 采购系列号GE50A
用于标准的气体(SEMI Gas编号）
| 氮气，N2 | 013 |
| 氨气，NH3 | 029 |
| 六氟化硫，SF6 | 110 |
流量范围，SCCM满量程（相当于氮气）
| 5 | 500 |
| 10 | 101 |
| 20 | 201 |
| 50 | 501 |
| 100 | 102 |
| 200 | 202 |
| 500 | 502 |
| 1000 | 103 |
| 2000 | 203 |
| 5000 | 503 |
| 10000 | 104 |
| 20000 | 204 |
| 30000 | 304 |
| 50000 | 504 |
装配件（法兰接口）
| Swagelok 4VCR male | R |
| 1/4 Swagelok | S |
| C-Seal,(92mm port to port) | C |
| W-Seal,(92mm port to port) | H |
通讯接口
| Profibus | 4 |
| RS485 | 5 |
| DeviceNet | 6 |
| Analog 0 to 5 VDC（9针D型） | A |
| Analog 0 to 5VDC （15针D型） | B |
| Analog 4 to mA（15针D型） | H |
密封材料
| 标配：Viton | V |
| 选配：Neoprene | N |
| 选配：Buna-N | B |
| 选配：Kalrez | K |
预留MKS的未来应用
| 标准 | 0 |
固化软件版本
| 除非另有说明，MKS会安装订货日期的最新固化版本软件 | 10 |
满量程流量为3位数字显示，前两位表示量程流量的有效数字，由小数点分开；第三位表示10的指数
注：其他气体可选，完全替代MKS 1179A质量流量控制器