应用领域：IGBT
设备特点：
低成本的平行离子束系统
最大支持200mm晶圆（以及超薄晶圆）
束电流增大到目标所需要的工艺
实现低污染ULVAC离子注入机
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| unit price | ￥0.00 |
| in stock | 1件 |
| Brand | ULVAC |
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品牌：ULVAC
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