扬州市神州科技有限公司成立于2003年，现有专业技术人员40人, 员工50人, 专业从事射频等离子体电源的维修、维护及销售，主要服务内容包括：为半导体工厂，液晶面板工厂等提供AE, MKS(ENI), DAIHEN, AD-TEC, KYOSAN, RFPP等国际品牌的射频电源、直流电源、匹配器、RPS及各类半导体设备维修、销售、客户方案定制与老式机型替代，并提供现场支持服务。
公司主要客户：TSMC, HYNIX, SMIC, IVO, JCAP, MEMSIC, HHNEC, SZ TIANMA, HEJIAN, JA SOLAR,SONY, TOSHIBA, BEST SOLAR等。
二、产品介绍
AE APEX 3013 / 13.56 MHz / 3000 W射频电源
| 物理特性 | |
| 尺寸 | 132.59mm（高）x 215.14mm（宽）x 425.96mm（深） |
| 5.22"（高）x 8.47"（宽）x 16.77"（深） | |
| 频率 | 13.56 MHz |
| 射频输出功率与调节 | 50Ω非无功负载上的正向输出功率为3 kW |
| 2:1电压驻波比负载上的正向功率为2000 W | |
| 3:1电压驻波比负载上的正向功率为1500 W | |
| 谐波 | 当在50Ω非无功负载中运行时，全部为最大额定输出为-40ddBc的正向/负载谐波 |
| 输出精度 | |
| 正向功率调节 | 当用50Ω非无功阻抗测量时，为设定值的±%或满额定输出功率的±0.1%，以二者中较大者为准 |
| 负载功率调节 | 在3:1电压驻波比无功负载下时，为负载功率的±3% |
| 环境因素 | |
| 操作环境温度 | 最低5℃(41℉),最高40℃(104℉) |
| 水冷却剂温度 | 最高35℃(95℉) |
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三、品质保障
我们所销售的电源、匹配器及RPS等如无特殊说明，均提供6个月的免费保修服务。
我们为销售产品提供终身维修服务，并可提供EXCHANGE服务，保证客户的生产正常进行。
四、运输
我们为所有出厂的机器提供最结实的包装，保证运输过程中机器的安全。