Instrument
射频电源、射频自动匹配器
Popularity:327  Sales volume:0  Evaluation:0
unit price 0.00
in stock 20件
Brand K-mate
  • product details
  • Evaluation details(0)
  • Transaction Record(0)

VERG\VENA系列射频电源及自动匹配器用于真空镀膜、等离子刻蚀、等离子清洗、物理气象沉积,化学气象沉积,磁控溅射,以及太阳能制造设备PECVD等设备当中,主要功能是实现全自动匹配,解决了现在国内真空镀膜设备中的一个技术空缺;具有自动,快速,可靠,高效,准确,节省人力和时间等特点。可选的射频系统检测模块可实时检测出系统的正反功率、驻波比、射频信号峰值电压、电流、直流偏置电压等,从而使您能够发现并显著降低制程变化性。

优势

●性能安全可靠,长时间工作稳定
●实时反射功率测量与控制
●优化设计、安装、使用与维修十分简便
●传输效率高,运行噪音小
●屏蔽效果好
●可外接匹配控制盒,与其他射频功率发生器配合使用

特点

●加强了镀膜与刻蚀工艺的控制
●优化的匹配算法加速匹配时间
●最大限度地减少驻波比与反射功率
●严格的可靠性测试

Contact information
the company:中山市酷美电子有限公司
status:Offline Send a letter Online conversation
Name:王礼胜(Mr)
职位:销售经理
phone:0760-88320910
Mobile phone:13802691684
传真:0760-88320760
area:China-广东省
address:中山市港口镇华师路2号厂房A4楼
邮编:528447
邮件:lisheng_wang@kmmzs.com
QQ:641143641