应用方向：高校微电子教学及科研、实验室芯片失效分析

测试器件类型：光电芯片、GaN芯片、RF芯片、有机器件、OLED等

测试参数：IV,CV,S参数，阻抗参数

配合仪器：B1500A半导体器件分析仪,B2900A 源测量单元,E4980A LCR表,E5071C阻抗分析仪，N5245A矢网等

MPS150A是专用的探针台解决方案，适合需要在短的时间内精确 对半导体元器件及材料、晶圆片进行IV/CV测试的用户使用。结合半导体器件分析仪可作为实验室的器件分析测试平台。
MPS150A 探针台为保护样片测量周期内高质量的接触，通过非常 稳定的系统平台设计，完美的振动隔离方案，能够让用户取得想要 的测量精度。工业标准探针座经过优化光学和无反向间隙X-Y-Z移 动，接触分离驱动达到1μm重复性，相对于半自动探针台探针座摆 放更加精密。高质量的三同轴信号线缆保证测试特性电流达到fA级别低噪声。
载片台可提供加热变温选件，让器件测试更加容易。载片台采用快速推拉式设计, 可单手调节操作, 高度平整的表面及可 移动性，让初学者和用户容易操作上手

该探针台设计具有可升级和扩展性，例如可升级阻抗测量（配合阻抗分析仪),电容测试可达fF级别。保护用户的一次性投资