C50系列气体质量流量计/控制器

气体质量流量控制器具有检测流量同时控制流量的大小的功能，有文件称呼为质量流量计，但质量流量计可能只是指检测功能的质量流量计，因此在定货时请尊敬的用户朋友你一定要注给我们的销售工作人员说清楚，是需要控制流量大小且检测流量的MFC还是只是检测流量大小的MFM，这很重要！！！ 

概要                                                         

C50系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制。

气体质量流量控制器可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。

我司产品系列完整，可选择数字式，模拟式，普通，高精度，高压力型，性能且价格具有竞争力，应用领域广泛。

特点                            

o    分别有模拟式热质式流量计/流量控制器：

-   低单价，稳定性能好。

-   环境温度补正

-   气体质量流量控制器可应用的流率范围广,量程可选：

-   0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM

-   0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM

o    具有高精度

      ±1%(≤15SLM)

      ±2%(＞15SLM.)

o    可选用C系列控制模块控制气体质量流量控制器，它具有数位显示、电源供应、流量设定等功能

o    国际兼容

 

应用                              

o    工业设施的气体供应监测/控制。

o    气体分析设备。

o    固定气体流量控制。

o    气体质量流量控制器同时应用于气体混合或分离设备的流量控制。

 

 

质量流量控制器流量范围是以mL/min，L/min 为单位

例：

5mL/min 表示为005

500mL/min表示为500

50 L/min(nor) 表示为50L