工    艺：I线光刻机

    工艺能力：0.5微米

    衬底尺寸：4英寸、5英寸、6英寸、8英寸

传片方式：机械手单片传送，片架到片架传送

二、设备配置：

    硅片传输系统

    掩膜版自动传输系统

    LSA对准系统

FIA对准系统

    照明系统

    二维精密XY工作台

    预对准系统

    环境控制器

三、工艺指标

NSR1755I7A是I线步进式光刻机，其曝光波长为365nm；分辨率可以达到0.5um；最大曝光场大小为17.5mm*17.5mm；单机套刻精度能够控制在120nm以内；并能提供大于60片/小时的产能。