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磁控溅射机
溅射台SRH-420
Popularity:125  Sales volume:0  Evaluation:0
unit price ￥0.00
in stock 10件
Brand ULVAC
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极限压强：成膜室 6.7*10-5Pa
设备构成：1个L/LU室+最多3个工艺室
溅射方向：向下溅射
基板尺寸：直径100-200mm
排气系统：LL室，刻蚀室，分子泵，成膜室，低温泵
控制系统：PC触摸式操作屏
搬送系统：多腔体方式
选购件：基板加热单元，基板冷却单元，刻蚀单元，多阴极单元
所需气体：Ar、氮气、干泵用氮气，压力0.5MPa

详情可咨询：www.yjyco.cn
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the company:青岛益嘉元科贸有限公司
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职位:总经理
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