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台阶仪/3D表面轮廓仪/白光干涉仪 美国芦华
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Brand 美国芦华
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台阶仪/3D表面轮廓仪/白光干涉仪 美国芦华
NanoMap Series 3D Surface Profilometer

美国AEP(AEP Technology, Inc.)

NanoMap-D 双模式三维表面轮廓仪(台阶仪)
世上第一台,也是唯一同时具备探针式扫描和白光干涉扫描功能的轮廓仪。既方便分析各种材料、器件、工具等的表面形貌,又节省了宝贵的空间、费用。有些表面不适合探针测量,因为容易损伤样品;有些表面不适合干涉仪,因为相邻材料光学性质差异太大。这台设备以强有力的竞争为您提供两种选择。
3D接触式探针扫描(contact profiler) 台阶重复率 5A
fine模式Z高度范围 5μm
coarse模式Z高度范围 500μm(可选1.5mm)
Tip Scan模式(XY) 最大50μm
Stage Scan模式(XY) 最大150mm(可选200mm等)
探针压力 0.03-100mg
样品台 150*150mm(可选200*200mm等)
3D非接触光学扫描(optical profiler) 台阶重复率 1A
CCD分辨率 1024*1024/1536*1536/1920*1920
物镜 2.5x/5x/10x/20x/50x/100x
样品反光率 0.4-100%
最大样品厚度 50mm( 可选100mm)
样品台旋转 360度
样品台倾斜 4度
应力分析  

 

 

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the company:美国芦华科技有限公司
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