NanoMap-1000WLI白光干涉仪
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| unit price |
￥10000.00 |
| in stock |
100件 |
| Brand |
芦华科技 |
- product details
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| NanoMap-1000WLI白光干涉仪 |
| 白光干涉带来了高的分辨率、400万像素的图像、大范围扫描。可定制的波长范围，使用户可以轻松灵活地测量任何表面形貌。优点在于使用了PSI（phase shift interferometry）技术，不接触样品表面，不损伤样品表面，对表面硬度没有要求，甚至可以测试粘弹性样品。 |
| 光源 |
长寿命LED附带两级带通滤波光栅技术 |
| 可选物镜倍数 |
10x（标配），2.5x，5x， 20x，50x，100x |
| 垂直分辨率 |
0.1 Å |
| 数字放大（Digital Zoom） |
1x, 2x |
| RMS可重复性 |
1 Å |
| 垂直扫描速度 |
3.75 to 26um/sec (software controllable) |
| 最大垂直测量范围 |
20 mm |
| 台阶高度重复性 |
0.1% or 1 Å (1 sigma) |
| 台阶重复率 |
1 Å |
| CCD分辨率 |
1024 x 1024（标配），1536 x 1536 ，1920x 1920 |
| 物镜 |
2.5x/5x/10x/20x/50x/100x |
| Z向扫描范围 |
20mm |
| 样品反光率 |
1% to 100% |
| 样品台旋转 |
360度 |
| 样品台倾斜 |
最大4度 |
| 标准样品 |
8μm台阶标样（选项） |
| 样品台 |
150*150mm(可选300*300mm) |
| 最大样品厚度 |
50mm(可选100mm) |
| 样品台旋转 |
360度 |
| 样品台倾斜 |
4度 |
| 主要应用 |
- 三维表面轮廓测量和粗糙度测量，适用于精密抛光的光学表面，也适用于质地粗糙的机加工零件。
- 薄膜和厚膜的台阶高度测量。
- 划痕形貌， 磨损深度、宽度和体积定量测量。
- 空间分析和表面纹理表征。
- 平面度和曲率测量。
- 二维薄膜应力测量。
- 微电子表面分析和MEMS 表征。
- 表面质量和缺陷检测。
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