适用于O₂。独家专用技术脱除原料气中的CO、H₂、CO₂、H₂O、CH₄、碳氢化合物至PPb级。

※HPC终端OB系列纯化器前端采用氧化催化剂，可将气体中微量的H₂、CO、CH₄、TCH等杂质转化为H₂O、CO₂而脱除。终端纯化采用高效吸附剂，在常温下可通过物理吸附深度脱除原料气中的H₂O、CO₂等杂质。

产品特点 ：

◆脱除杂质深度高

◆吸附容量大， 使用时间长相比国内现有的纯化工艺，HPC –OM型纯化技术不释放碳氢化合物，常温工作，节能环保。非消耗型纯化材料，降低成本，纯化深度高，使用寿命长。

应用领域：  

MOCVD，MBE（化合物半导体工业）、

SOI(硅晶体生长)、

LED（半导体照明）

IC（大规模集成电路）

PV（光伏太阳能）

气体净化、

光学纤维生产、

惰性气体激光器、

气相色谱仪等

光刻

零点气纯化