NSR1505g6E主要用于CD线宽不超过0.65μm器件的生产。
主要技术指标
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分辨率 |
0.65μm |
Resolution |
0.65μm |
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N.A. |
0.54 |
N.A. |
0.54 |
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曝光光源 |
436nm |
Exposure light source |
436nm |
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倍率 |
1:5 |
Magnification |
1:5 |
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最大曝光市场 |
15mmX15mm |
Maximum Exposure area |
15mmX15mm |
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对准精度 |
140nm |
Alignment accuracy |
140nm |
提供3”、4”、5”、6”、设备改造。
常年提供所有备件、耗材。
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