步进光刻机
NSR1505g4D光刻机 上海卓晶半导体科技有限公司
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NSR1505g4D光刻机

  

NSR1505g4D主要用于CD线宽不超过0.75μm器件的生产。

主要技术指标

 

分辨率

0.75μm

Resolution

0.75

N.A.

0.45

N.A.

0.45

曝光光源

436nm

Exposure light source

436nm

倍率

1:5

Magnification

1:5

最大曝光市场

15mmX15mm

Maximum Exposure area

15mmX15mm

对准精度

180nm

Alignment accuracy

180nm

 提供3”、4”、5”、6”、设备改造。

 

Contact information
the company:上海卓晶半导体科技有限公司
status:Offline Send a letter Online conversation
Name:李经理 (Mr)
phone:021-50381269
area:China-上海市
address:上海市浦东新区李时珍路396号