•自动针高测量并显示数据
•显示Chuck 三点水平调校值，加速水平校正
•快速换针设计
•辅助对针观察CCD
•Edge Sensor灵敏且稳定
•连续测试NG异常停机
Tester 特色(LT-10)
•积分球收光
•光谱积分量测光强度
Prober 规格
| Tester | 梭特高线性度测试机 或 客户指定 | ||||
| Wafer Ring Size工作直径 |
6 ~ 10 英吋 Φ110mm ~Φ200 mm |
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| Working Area of Wafer Test Stage |
X: 170 mm，精度(含视觉定位) <±7.7um @100mm，分解能<0.1um Y: 400 mm，精度(含视觉定位) <±7.7um @100mm，分解能<0.1um Z: 15 mm，精度<±4 um，分解能<2um |
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| 收光积分球 | 最大球体直径: Φ100mm 收光角度: 106ﾟ 最低收光高度: 6mm |
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| Index Time @Z 工作高度 200um |
XY Pitch | 200um | 300um | 400um | 500um |
| 70ms | 80ms | 90ms | 100ms | ||
| Pre-scan CCD | Zoom Lens ,View 2.3 x 1.7 ~13.7 x 10.2 mm2 ，Resolution: 1296 x 966 pixel2 可程控(同轴、环状)光源 |
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| Observing CCD | View: 1.2 x 1.8 mm2 , Resolution: 659 x 494 pixel2 | ||||
| 探针组 | 摆设位置: 7个 , 工作压力: 2～10g | ||||
Tester 规格(LT-10)
| Item | Description | Unit | Specification |
| Voltage | Measurement Range | V | 0~200 |
| Spectrometer | Measurement Range | A | 1uA~1A or 0.85A |
| Wavelength Range | nm | 350~1050 | |
| Resolution | nm | 0.3 | |
| Repeatability | nm | 0.4 | |
| Brightness | linearity | % | < 1.5 |
Tester 配备
1.电源供应器:KEITHLEY 2400(2600)或梭特自制电表
2.分光卡、16 Bit AD(使用Ocean USB 2000+ )
3.2英吋积分球
Tester 选购配备
1.ESD测试模块
2.4英吋积分球