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倒装键合机 中电科电子
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Brand 中电科电子
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倒装键合机
  • 晶圆尺寸: 8寸、12寸
  • 适用材料: 芯片
  • 适用工艺: 可根据工艺要求设置装片区域、颗数,实现无图谱的盲贴
  • 关键部件
  • 关键特点
  • 技术参数

 

1,预处理机构

   独有的芯片传输机构(专利保护),大幅缩短芯片从蓝膜到基料的传输距离,提升芯片生产效率。

 

 

2,全自动上下料系统

  1,Wafer ring自动上下料,Bar code识别,智能制造;

  2,base wafer自动上下料,进口机械手,Notch对准机构Aligner实现高稳定性。

 

 

3,键合头

  高效键合头系统,程控键合压力,保证bump压平高度;翻转头同样具备压力可控功能。

 

 

4,软件界面

  1,清晰明了的BEE软件界面设计,树形结构引导操作;

  2,Post Bond 精度曲线实时显示;

  3,方便快捷芯片模板制作,预对准校正功能。

 

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