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MOCVD金属有机化合物气相沉积设备
GaN-MOCVD设备 青岛杰生
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Brand 青岛杰生
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  • 产品名称：2英寸6片W620型设备
  • 产品介绍：
    主要技术参数：

    1、生长晶片尺寸： 2英寸6片；
    2、生长温度控制范围：300-1300℃；
    3、最大生长速度：大于3um/小时；
    4、反应室压力控制范围20-900托，连续可调，控制精度1托（200-900托）；0.2托（20-200托）；
    5、系统气密性：管路系统漏气率<1X10-9PaL/S；
    6、外延膜的均匀性和重复性优于±5%；
    7、配备：（可根据用户要求配置）
        4路气体：（H2,N2,NH3,SiH4）
        6路MO源：（TEG,TEA,TMA,Cp2Mg,TMG,TMin）
    7、主机外形尺寸：4800×800×2200mm（L×W×H）（不包括RF电源）
Contact information
the company:青岛杰生电气有限公司
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Name:郑经理(Mr)
phone:0532-88705925
Mobile phone:15376758892
area:China-山东省
address:青岛市崂山区株洲路177号惠特工业城5号楼