灵活的手动操作湿法工作台系统适用于多种半导体、微系统和太阳能技术的应用。该系统可根据您的工艺配置要求，为您量身定制。我们为您提供以下备选设备制造材料，该设备用一下材料制作：聚丙烯、硫化聚苯醚、聚偏氟乙烯、聚三氟氯乙烯、石英或不锈钢。

优势及特性 :

• 模块化设计
• 占地面积小
• 易维护
• 操作简便

Technical Data 湿法手动工作台

• Process

  • Rinsing, etching, stripping, drying
  • E.g. SC1, SC2, HF, KOH, H2SO4

• Dimensions

  400 x 1.000 x 2.050 mm per module (length x width x height)

• Throughput

  Depending on process

• Wafer thickness

  Depending on process

• Media consumption

  • DI water: depending on configuration
  • Electricity: 380-400V; 50-60Hz, 16-32 A
  • Exhaust: ~ 450m3/h per module
  • Compressed air for pneumatic