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热板
SAWATEC瑞士进口半导体高精度热板
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SAWATEC
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该系列可用于最大300mm的晶圆或者12x12寸的基板,具备便携桌上式,内嵌
式和移动柜式三种类型。
SAWATEC为一般半导体光刻,微电机光刻以及类似的应用中的软烤和硬烤工艺
提供不同类型的热板。手动的热板拥有坚实的部件,并且操作也简单。由于热板
实际运行温度曲线和设定的温度差别非常小,因此涂层的质量能够得到很好的
保障。
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