中国科学院光电技术研究所

自适应光学、光束控制、微纳光学、半导体加工专用设备

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     中国科学院光电技术研究所(简称光电所)始建于1970年,是中国科学院在西南地区规模最大的研究所。建所以来,光电所在自适应光学、光束控制、微纳光学等领域取得了多项重大成就,先后取得包括国家科技进步特等奖在内的540余项科技成果,申请专利900余件,授权专利470余件,发表论文4500余篇。与此同时,广泛开展国内外学术交流与合作,多次承办国际先进光学制造和检测会议等国际学术交流活动。
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自适应光学、光束控制、微纳光学、半导体加工专用设备

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Company Name: 中国科学院光电技术研究所
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紫外光刻机

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