Website Homepage
Shopping cart
User center
Product Category
Prompt message
inquiry experts experts
Service Hotline
4001027270
1．技术特征——非常适合工厂（效率高，操作傻瓜型，自动化程度高）和高校教学科研（可靠性好，演示方便）
采用自动找平，具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能，自动分离对准间隙和消除曝光间隙，采用350W进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度。设备外形美观精制，性能非常可靠，自动化程度很高，操作十分方便。
2．技术参数
l曝光面积：4英寸
l曝光波长：365nm
l分辨力：1mm（胶厚2 mm的正胶）
l对准精度：±0. 8mm
l掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm
l掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
l样片尺寸：直径f10mm-- f100mm(各种不规则片)
厚度0.1mm--5mm(可扩展为15mm)
l曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
l具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能
l照明不均匀性： 3%（f100mm 范围）
l双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍
物镜三对：4倍、10倍、20倍
目镜三对：10倍、16倍、20倍
l调平接触压力通过传感器保证重复
l数字设定对准间隙和曝光间隙
l具备压印模块接口，也具备接近模块接口
l掩模相对于样片运动行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6º
l最大焦厚：400mm（SU8胶，用户提供检测条件）
l光源平行性：3.5 º
l曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面温度<35 º
l单层曝光一键完成
l采用球气浮自动找平
l汞灯功率：350W（直流，进口汞灯）
3．外形尺寸：1200mm（长）´900mm(宽) ´1750mm（高）
4．交货期：1.5月
