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| 型 号 | ZF-LED6355 |
| 规 格 | 2700*1450*1650mm |
| 有效曝光区间 | 630mm*550mm |
| 功 率 | 光源1.5KW,整机3KW |
| 能量均匀度 | ≥95%,100%台面利用率 |
| 发光角度 | ≤1.5° |
| 线路解析度 | ≥20um |
| 真空度 | ≥95mmHg |
| 制冷方式 | 恒温水冷 |
| 曝光方式 | 双框曝光、石英玻璃+Mylar膜 |
| 运动方式 | 数控精密电机、同步轮皮带 |
| 机器控制 | PLC、光源监控显示报警、恒温监控 |
| 供电、供气 | 220V、10A、50HZ、0.1-0.3KPa |
| 适用领域 | FPC、PCB精密曝光 |
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